半导体制造工业对生产环境的洁净度和自动化水平有着极高的要求。作为行业领先的解决方案提供商，村田机械（Muratec）开发的OHS（Overhead Hoist Shuttle）半导体制造工厂搬送系统，结合无尘自动化技术与计算机系统集成，为高端半导体生产线提供了可靠、高效的物料传输保障。
OHS系统是一种高架式穿梭车搬送系统，专门设计用于在半导体制造的无尘环境中运输晶圆盒（FOUP）及其他敏感物料。该系统通过高架轨道布局，最大化利用洁净室空间，同时避免地面设备对气流和洁净度造成干扰。村田机械的OHS系统具备卓越的定位精度和稳定的运行性能，能够无缝集成到半导体前道工艺的各个制造环节中。
在无尘自动化方面，村田机械的OHS系统采用了封闭式设计和低颗粒发生技术，确保在运输过程中不会污染洁净室环境。系统还配备了先进的振动控制和缓冲机制，保护晶圆在搬运过程中免受物理损伤。智能调度算法和实时监控功能使得系统能够根据生产计划动态优化搬运路径，提升整体设备效率（OEE）。
计算机系统集成是OHS系统的核心优势之一。村田机械通过成熟的软件平台，将OHS系统与工厂的制造执行系统（MES）、企业资源规划（ERP）以及自动化物料控制系统（AMHS）进行全面集成。这种集成实现了生产数据的实时同步、物料状态的全程追踪以及故障预警与诊断，助力半导体工厂实现智能制造和数字化转型。
总而言之，村田机械的OHS半导体制造工厂搬送系统以其出色的无尘性能、高度的自动化水平和强大的计算机系统集成能力，成为现代半导体制造中不可或缺的关键基础设施，持续推动着半导体产业向更高效、更可靠的方向发展。
